一、項目背景

集成電路生產幾乎每道工序需要超純水進行清洗，工件與水直接接觸，水質達不到標準，水中的微量雜質可能使芯片再污染，對產品產生的影響不言而喻。隨著集成電路不斷精細化，集成電路生產對水中污染物要求越來越嚴格，從六十年代末期，美國五家公司提出的集成電路用純水水質指標以來，集成電路每前進一代，雜質都要減少1/2～1/10。美國材料實驗學會(ASTM)1983、1990年頒發的電子級水質標準已不能適應超大規模集成電路迅速發展的需要。目前ASTM提出了新的、更為嚴格的水質指標。

二、項目參數

1、膜型號：德蘭梅爾超純水反滲透膜SCW20

2、產水量：800T/D

3、采用工藝：RO+EDI+拋光

4、出水水質：18兆歐電子級超純水

三、項目工藝

在預處理階段，“RO+EDI+拋光混床”工藝與傳統超純水處理工藝基本相同。原水經過嚴格預處理之后，進入RO反滲透系統，出水立刻送至EDI裝置中，此時出水已經達到一般工業用超純水要求，再經過拋光混床對出水進行深層次處理，保證出水無任何雜質，達到18兆歐電子級超純水標準。

四、德蘭梅爾超純水反滲透膜應用優勢

1、德蘭梅爾超純水反滲透膜高脫鹽率、高抗污染，保證膜元件的穩定運行。

2、德蘭梅爾超純水反滲透膜對高硼、硅、鍺等金屬元素具有高去除率。

3、德蘭梅爾超純水反滲透膜清洗周期長，出水水質穩定，有效節約運行成本。

4、德蘭梅爾超純水反滲透膜適合超純水行業EDI系統之前作為脫鹽組件，保證EDI系統安全穩定運行，確保出水達標。

德蘭梅爾(www.rofanshentou.com )超純水反滲透膜可應用于電子行業、超純水行業、電廠、石油化工行業等。德蘭梅爾膜產品性能穩定，可以節省投資、降低運行費用、減少單位消耗。德蘭梅爾膜產品廣泛應用于電力、石油化工、醫藥、食品飲料、生物制藥、鋼鐵、紡織、市政及環保等領域，在海水淡化、工業純水、電子級超純水、中水回用、生物制藥、食品行業分離濃縮過程中發揮著重要的作用。

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